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產品特點：
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產品放置治具靈活多變，可適應不規則的產品
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水平電極設計，可滿足軟性產品處理需求。
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低耗能、耗氣產品。
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便捷的收放板方式
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真空系統集成，占地面積小
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合理的等離子反應空間，使處理更均勻
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集成的控制系統設計，使操作更方便
產品參數：
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型號 |
真空等離子清洗機 |
HSR-60B |
| 電源系統 |
射頻電源 |
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功率 |
0~600W |
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頻率 |
13.56MHz |
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真空系統 |
雙級旋片泵（油泵） |
40m3/h |
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真空管路 |
全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管 |
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材質 |
鋁合金（可定制不銹鋼腔體） |
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厚度 |
25mm |
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密封性 |
軍工級焊接密封 |
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腔體內部尺寸 |
375×375×430mm（寬×高×深） |
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電極板有效尺寸 |
345×344mm（寬×深） |
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可用空間間距 |
22.5mm |
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電極板布置方式 |
水平布置，可活動抽取 |
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工作托盤 |
標配一套，材質可選配(鋁材、鋼絲網） |
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工作空間 |
上下 2 層 |
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氣體系統 |
流量范圍 |
0~300SCCM |
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工藝氣體氣路 |
標配兩路，可定制 |
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控制系統 |
系統控制 |
PLC |
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交付方式 |
7 寸觸控屏幕 |
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其它參數 |
外形尺寸 |
900×1600×900mm（寬×高×深） |
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重量 |
150KG |
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設備外觀顏色 |
銀灰色 |