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產品特點：
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1.產品放置治具靈活多變，可適應不規則的產品
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2.水平電極設計，可滿足軟性產品處理需求。
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3.低耗能、耗氣產品。
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4.便捷的收放板方式
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5.真空系統集成，占地面積小
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6.合理的等離子反應空間，使處理更均勻
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7.集成的控制系統設計，使操作更方便
產品參數：
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型號
真空等離子清洗機
HSR-150B
電源系統
射頻電源
功率
0~600W
頻率
13.56MHz
真空系統
雙級旋片泵（油泵）
羅茨泵+單級旋片泵
真空管路
全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管
材質
鋁合金（可定制不銹鋼腔體）
厚度
25mm
密封性
軍工級焊接密封
腔體內部尺寸
500×670×500mm（寬×高×深）
電極板有效尺寸
587×470mm（寬×深）
可用空間間距
34mm
電極板布置方式
水平布置，可活動抽取
工作托盤
標配一套，材質可選配(鋁材、鋼絲網）
工作空間
3層
氣體系統
流量范圍
0~300SCCM
工藝氣體氣路
氬氣
控制系統
系統控制
PLC
交付方式
7 寸觸控屏幕
其它參數
外形尺寸
1020×1720×1120mm（寬×高×深）
重量
350KG
設備外觀顏色
銀灰色