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產(chǎn)品特點：
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產(chǎn)品放置治具靈活多變，可適應(yīng)不規(guī)則的產(chǎn)品
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水平電極設(shè)計，可滿足軟性產(chǎn)品處理需求。
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低耗能、耗氣產(chǎn)品。
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便捷的收放板方式
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真空系統(tǒng)集成，占地面積小
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合理的等離子反應(yīng)空間，使處理更均勻
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集成的控制系統(tǒng)設(shè)計，使操作更方便
產(chǎn)品參數(shù)：
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型號 |
真空等離子清洗機 |
HSR-100B |
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電源系統(tǒng)
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射頻電源 |
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功率 |
0~600W |
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頻率 |
13.56MHz |
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真空系統(tǒng)
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雙級旋片泵（油泵） |
60?/h |
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真空管路 |
全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管 |
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材質(zhì) |
鋁合金（可定制不銹鋼腔體） |
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厚度 |
25mm |
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密封性 |
軍工級焊接密封 |
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腔體內(nèi)部尺寸 |
400×450×500mm（寬×高×深） |
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電極板有效尺寸 |
420×411mm（寬×深） |
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可用空間間距 |
22.5mm |
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電極板布置方式 |
水平布置，可活動抽取 |
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工作托盤 |
標配一套，材質(zhì)可選配(鋁材、鋼絲網(wǎng)） |
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工作空間 |
8層 |
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氣體系統(tǒng) |
流量范圍 |
0~300SCCM |
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工藝氣體氣路 |
標配兩路，可定制 |
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控制系統(tǒng) |
系統(tǒng)控制 |
PLC |
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交付方式 |
7 寸觸控屏幕 |
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其它參數(shù) |
外形尺寸 |
900×1750×1000mm（寬×高×深） |
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重量 |
200KG |
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設(shè)備外觀顏色 |
銀灰色 |